PRIMES MicroSpotMonitor(MSM)是检查、监控和批准非常精细的激光束的理想工具,例如用于微材料加工的激光束。MSM 可自动测量和分析聚焦点周围不同 Z 位置的空间光束分布。
聚焦激光束是决定加工质量的重要因素。在大多数激光材料加工中,它是实际的工具。MSM 的任务是对用于微材料加工的激光系统的工具进行认证和监控。通过定期测量,可以识别和记录光束轮廓、焦点位置或光束尺寸等方面的任何变化。测量结果不仅有助于故障分析,还有助于优化微加工过程。使用 MSM 的各种可能性为操作人员的应用提供了多种解决问题的方法。
MicroSpotMonitor 可以直接在加工区域内确定平均功率高达 200 W 的聚焦激光束的光束参数,范围从 20 微米到 1 毫米。纯空气冷却系统通过各种分光镜和中性密度玻璃滤光片将衰减后的激光束成像到 CCD 传感器上。光束位置和光束半径是通过这种方式确定的水平光束分布得出的。在集成 Z 轴和激光束不同位置测量的帮助下,可确定和记录所述光束参数。
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