平面度测量干涉仪 TOPOS 100

磨削零件菲佐光学

TOPOS 100 是一款非接触式平坦度测量仪器，用于精密制造表面，具有亚微米精度。 TOPOS 平坦度测量仪器满足 客观工作测量工具的要求，用于精密部件（例如燃油喷射 系统、泵或阀门）的生产和质量控制。 TOPOS 干涉仪允许对研磨、 精加工和抛光精密部件进行非接触式平坦度测量。 TOPOS 干涉仪根据光的放牧率原理运行。 也可以测量较粗糙的部件的平坦度，光学平面或菲佐干涉仪没有更多的条纹图案。 计算机根据干扰模式计算测试对象的平坦度。 在研磨或研磨部件旁边也可以测量抛光部件。 部件可以由多种材料组成： -金属（钢，铝，青铜，铜等） -陶瓷 (Al2O3, 碳化硅, 碳化硅等) -塑料材料 -等 干涉仪可放置在生产线上，靠近加工机。 在整个测量区域内，绝对精度高达 0.1µm。