晶圆旋转涂布机 VTC-100PA
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产品介绍
引言VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。2、主要技术指标电机功率：350W电源：AC220V50Hz速度范围：500rpm-10000rpm程序运行：可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段增减速率设置范围：100rpm/s-2000rpm/s时间范围：0-60s吸盘：Ø19mm、Ø60mm本机可选配加热功能
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