PVD镀膜机 PVD 75溅射热蒸发真空
添加到我的收藏夹
添加到产品对比表
产品规格型号
- 方法
- PVD
- 所用技术
- 溅射, 热蒸发
- 其他特性
- 真空
产品介绍
赞成线PVD系列–多才多艺飞溅，电子束、上升暖流，&有机蒸发证言平台
赞成线PVD系列为各种各样的薄膜证言应用运用构形的模块设计。
可利用在三增长的房间大小：PVD75、PVD200和PVD500
可利用对TORUS® Mag Keeper™ UHV适合圆磁控管飞溅来源在2"，3"，4"直径
可利用对TORUS®线性磁控管
可利用对多口袋电子束蒸发来源
可利用对多种热量蒸发来源配置
可利用两个有机蒸发的来源
可利用多技术的选择。例子：电子束+飞溅，电子束+蒸发
湿或干燥概略抽，涡轮泵浦或者可利用低温泵浦高度真空泵的选择
标准配置与11"兼容到20" OD基体(等待房间大小)；由850°C热化决定，冷却和偏心可利用的选择
唯一和多薄酥饼装载锁定选择可利用为基体6"
赞成线PVD工具系列包括KJLC的创新eKLipse™高级控制包裹
---
