超高级 PluSTM 是成功的电源系列平台的另一个扩展。 ATPremier PLUS 具有卓越的晶圆级螺栓碰撞和线焊接功能,提高了生产率,提高了效率。
主要特性
能能够粘接直径达 300 毫米的晶圆、陶瓷或基板
粘接贴合精度
-±3.5µm @3 西格玛(200mm 工件)
-±5.0µm Δsigma(300mm 工件)
电源系列先进的硬件和软件控制一
流的低温金 @3通
过轻松访问较低的控制台
可编程电源系统,具备备备份可
升级功能
-可选铜或银合金功能和套件
-可选基本线焊接能力
市场上最小的占地面积
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