室式炉 CLH series

熟化老化退火

耐热的高性能过滤器和我们独特的冷却装置可以在清洁的环境下进行高温烘烤（最高530℃（V型最高500℃））。 热空气循环系统可以实现出色的温度均匀性和100级的空气洁净度（当温度稳定时）。 这种类型的烤箱是半导体晶片和玻璃基板烘烤以及老化和其他需要高温和高精确度的热处理的最佳选择。 通过向炉室引入氮气（N2），可在20ppm或更低的残余O2浓度下进行热处理。 特点 安装了一个耐热的高性能过滤器和我们独特的冷却装置，以实现高温烘烤。 在温度稳定的情况下，炉膛内部可以保持100级的清洁度。 有两种热空气鼓风机类型：带水平循环的前侧鼓风机（V型）和侧面鼓风机（III型）。两者都能实现高热效率和良好的温度均匀性。 对于半导体晶片和玻璃基片的烘烤、老化和其他需要高精度的热处理来说是最理想的。 可将惰性气体引入炉室，将烤箱作为惰性气体烤箱使用。