室式炉 CCBS-IR

退火熟化红外

CCBS-IR系列是采用红外加热系统的单基片转移式无尘烤箱。 它们可以对大尺寸液晶（LCD）和有机EL（OLED）进行各种热处理，最高可达10代。 还可提供在500°C下处理IGZO和LTPS（低温多晶硅）的示范型号。 特点 高水平的清洁系数 高加热效率 优异的温度均匀性 能够进行气氛控制 高水平的清洁因素 不产生灰尘的清洁结构，结合精确的烤箱气氛控制（已获得专利），提供了高水平的清洁性能。 这些烤箱还能够处理需要严格洁净环境的阵列基材。 高加热效率 采用了具有卓越加热效率的远红外（IR）加热系统，能够高效率地加工所有厚度的薄膜。 它是加工对准层和钝化膜等厚膜的理想选择。 优异的温度均匀性 所采用的红外板式加热器提供出色的温度均匀性。即使是大尺寸的基材，如第10代，它们也能实现均匀加热。 能够进行气氛控制 氮气可被注入烤箱，以便在低氧浓度下进行热处理。