钟形炉 RLA-1200

氧化退火燃气

这种用于4英寸到8英寸晶圆的灯管退火系统，即使在研发中使用，也能实现高质量的加工。可以在真空（LP）环境和N2负载锁定气氛下进行活化和氧化。 特点 具有研发的高性能工艺 通过手动转移受体来实现低成本的系统 上、下交叉灯结构和浸泡炉提高了平面内温度的均匀性 可提供4-8英寸的晶圆尺寸 配备了便于操作的高性能控制系统 真空设计的石英管实现了精确的气体置换和真空压力下的加工。 这种用于研发4英寸到8英寸晶圆的灯管退火系统，由于采用了200℃/秒的高速加热和手动转移受体，因此节省了加工成本。使用上下交叉卤素灯的结构实现了卓越的平面内温度均匀性，使低成本和高质量的加工成为现实。由于石英管的设计包含了抗真空的特性，因此可以在洁净的真空（LP）环境和N2负载锁定气氛中进行加工。