质量流量调节器 HFC-303

用于气体高精度

测量质量流量的质量流量控制器和仪表，与机械流量计和阀门相比，受温度和压力的影响较小，并能以电子方式交换有关流量的信息。它们被广泛用于对精确度、可重复性、响应性和成本效益要求较高的领域的工艺和设备中，如半导体、光导纤维、各种分析、燃料电池、液晶、有机电致发光、生物技术、食品、环境测量、燃烧气体控制、工厂设施和检查设备。 通过N₂转换，可以控制大流量，最高可达F.S.1000SLM。