质量流量调节器 EX-550 series 用于气体数码高精度
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产品规格型号
- 所用技术
- 质量
- 液体类型
- 用于气体
- 其他特性
- 数码, 高精度
- 压力
最多: 3,000,000 Pa
(435.1 psi)最少: 50,000 Pa
(7.3 psi)
产品介绍
它是一款全金属MFC，配备高速绕线传感器，具有出色的内部开发稳定性。
SEMI兼容106mm（可选择124mm）表面，RS485通信是标准配置。
高精度腐蚀性气体兼容产品，1.0％SP。
金属密封结构
高速应答及出色的零点稳定性
0-5V或4-20mA输入/输出信号，电源
可从±15 V或24 V单电源选择
□电源连接器采用通用性较高的D-sub9针连接器
通过切换旋转开关，可以使用主机中登记的气体类型。
※流量是与N2气体的比率计算出的值
标准配备通讯功能（RS485）
符合RoHS•CE标准
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