晶圆边缘测量系统 WATOM 150/200mm

摄像机式自动化轮廓仪

自动晶圆边缘轮廓仪 WATOM 150/200mm 晶圆边缘测量 - 可靠的投影技术 WATOM CCD 采用轮廓投影技术替代 LS 技术，为要求不高的轮廓测量提供理想的解决方案，特别是在不需要缺口测量的情况下。CMOS 摄像机通过远心光源捕捉晶片边缘的轮廓图像。 WATOM 采用模块化设计，可与现代半导体制造工艺中的各种自动化解决方案相结合，无论是手动装载单个晶圆还是采用自动材料处理系统 (AMHS)。