线性位移台

旋转多轴滚筒

- 紧凑型设计 - 统一的界面 - 无与伦比的刚度 - 同心度精度在微米范围内 不同的直接驱动技术最适合在极小的空间内精确、可靠地完成操作任务。线性旋转或旋转行程应用需要旋转和线性驱动运动的组合。KML 提供的驱动技术通过扭矩和线性电机技术组合成最佳运动解决方案。 除了客户对湿化学加工工艺的常规要求外，还必须考虑到其他系统要求。这些要求包括 - 设计紧凑 - 统一的界面（机械/电子） - 旋转装置的同心度精度在微米范围内 - 特殊材料可抵御侵蚀性极强的介质（酸等） - 系统适用于最高级别的无尘室 - 可靠性和稳定性 - 几乎 100% 的设备可用性 - 易于维护 - 整个系统在承受高动态相互作用载荷时具有最大的刚度 在最新有限元方法的帮助下，实现了具有最高固有刚度的整体紧凑型系统解决方案： - 由压实材料制成的铸造基体 - 带滚珠丝杠的旋转轴用于垂直运动 - 用于旋转轴的特殊高精度混合轴承组合 - 中空轴直接驱动和伺服电机技术 - 预应力不锈钢滚柱导轨 - 所有运动部件均采用特殊润滑剂 - 特殊表面涂层 - 用于抑制微粒的真空室系统 - 100% 的功能控制和合格的测试过程