单轴定位系统

激光光学线性

- 超动态运动 - 无与伦比的定位精度 - 系统刚性高 - 最低的颗粒排放 高速直线电机系统是专为半导体制造设备中的进给轴而开发的，可实现卓越的生产率和工艺可靠性。 除了移动质量、行程范围、周期定义等客户的常规要求外，还需要考虑其他特性。这些特性包括 - 极其紧凑的设计 - 无与伦比的同步质量（齿槽） - 无需维护 - 快速调试 - 绝对位置反馈 - 适用于定制电缆的电缆管理 高速直线电机系统专为高定位精度的应用而开发。它可以选择使用定制的滑块和底板钻孔模式，以满足个性化需求。此外，该系统还设计有无尘室兼容版本，可在敏感环境中使用。为方便初始调试，还提供了一套参数集，以实现快速高效的调试。 - 晶片处理 - 基片处理 - 电子移动 - 医疗技术 - 激光加工 - 光学镜片处理