温度测量系统 SensArray®

刀具自动

实时温度测量自动化方案 SensArray® 自动化方案可以快速自动地收集工艺设备反应室的温度测量数据。 该方案包括兼容架空轨道（OHT）的FOUP、自动化站、系统自动化控制器以及办公室PC软件许可部件。 SensArray FOUP的工艺操作方式与任何量产中使用的FOUP相同，并且可以直接将数据传输至SPC图表中。 SensArray Automation提升了生产效率，这得益于工艺设备可用性的提高、更有效的工程资源利用以及工厂MES数据库中的集中数据存储。 应用 工艺开发，工艺认证，工艺设备监控，工艺设备认证，反匹配，工艺设备匹配