晶圆蚀刻机 Primaxx® Monarch 3

Primaxx® Monarch 3 气相氟化氢 (VHF) 蚀刻系统使用可控的氟化氢/无水酒精蚀刻工艺来完成选择性蚀刻释放。Monarch 3 是一个紧凑型模块，其中包括一个可支持3片晶圆的工艺腔体，内含一个带预抽真空室的半自动3片晶圆载台。它专为研究实验室和小批量生产环境而设计。带有电子控制板的集成式电脑屏可最大限度地减少洁净室占地面积，且该系统的设计支持轻松地更改晶圆尺寸和进行维护。 • 兼容 100mm-200mm 晶圆 • 批量式工艺最多 3 片晶圆 • 独立系统 • 占地面积小，其中包括工艺腔体、气体/液体面板和压力/真空组件