光学检查机 C205带图案晶圆用于电子工业裂纹
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产品规格型号
- 所用技术
- 光学
- 应用
- 带图案晶圆
- 领域
- 用于电子工业
- 其他特性
- 裂纹
产品介绍
C205宽带等离子光学缺陷检测系统可为汽车、物联网、5G和消费者电子市场的芯片制造提供系统性缺陷检测并发现潜在的可靠性缺陷。C205采用可调谐宽带光学照射源、先进的光学组件和低噪传感器，可以捕获系统性缺陷并在研发过程中加速新工艺、设计节点和设备的表征和优化。NanoPoint™技术对可靠性故障高风险的图案区域进行检测，获得可操作的缺陷数据并协助减少过度芯片错杀。在生产中，C205用以监控那些需要高灵敏度检测的关键层，帮助晶圆厂避免影响最终芯片质量的缺陷偏移。C205是一个可扩展、可配置的平台，支持200毫米及300毫米晶圆。
主要应用
发现缺陷、发现热点、工艺调试、工程分析、生产线监控、发现工艺窗口
