Candela 6300系列光学表面分析仪系统为金属或玻璃数据存储基板和成品介质提供了先进的量测和检测功能。随着数据存储制造商努力通过进一步降低磁头飞行高度来提高设备存储容量,控制磁盘表面的粗糙度变得越来越重要。6300系列光学表面分析仪利用业界最宽的空间带宽覆盖范围(0.22-2000µm)和亚埃级本底噪声来满足对粗糙度和微观波纹度进行全面测量的要求。
Candela 6300系列光学表面分析仪利用获得专利的多通道光学设计,结合独特的激光稳定性管理技术,以及强大的光学表面测量功能,对边缘roll-off、纹理/抛光均匀性、高密度互连的表征以及划痕和微粒进行检测。检测和量测系统的尖端光学扫描技术可在径向和切线方向上对整个磁盘的形貌进行量测,并允许制造商使用单一的工具来测量整个空间光谱。增加了激光功率、降低了本底噪声以及新的光学设计消除了对用于缺陷检测的溅射玻璃基板的需求,从而可以识别<0.1Å的粗糙度变化。