硬度试验压头 iMicro

硬度试验压头 - iMicro - KLA Corporation
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产品规格型号

应用
硬度试验

产品介绍

iMicro 纳米压痕仪标配InForce 1000作动器,用于进行纳米压痕和万能纳米力学试验,并可选配InForce 50作动器用于测试较软的材料。InView 软件包灵活、现代,让用户轻松进行纳米尺度测试。iMicro是一款紧凑型测试平台,其箱体中内置高速InQuest控制器和隔振框架。各种不同的材料和器件均可以进行测试,包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等。 产品特色 • InForce 1000作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动,且压头易于更换 • InForce 50作动器选件,提供最大50mN的法向力,可用于测量较软的材料;Gemini 2D作动器选件,可实现两个方向的动态测量独特的压头校准系统,集成在软件中,可实现快速、准确的压头校准 • InQuest高速控制器电路,数据采集速率可达100kHz,时间常数最快为20µs • XY运动系统以及易于安装的磁性样品台 • 高刚度框架,且集成隔振功能 • 集成显微镜,数字变焦,可实现精确的压痕定位 • 符合ISO 14577等标准的测试方法 • InView软件包,包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在线培训和InView移动应用程序 产品应用 • 硬度和模量测量(基于Oliver-Pharr模型) • 快速材料力学性能成像 • ISO 14577 硬度测试 • 聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量 • 定量的划痕和磨损测试 • 高温纳米压痕测试 适用行业 • 大学、科研实验室和研究所 • 半导体与封装产业 • PVD/CVD 硬质涂层(DLC、TiN) • MEMS:微机电系统/万能纳米力学试验 • 陶瓷与玻璃 • 金属与合金 • 制药 • 涂层 涂料 • 复合材料 • 电池与储能 • 汽车与航空航天

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