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光学检测系统 FlashScan®自动缺陷检测用于电子行业
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产品规格型号
- 技术
- 光学
- 运行模式
- 自动
- 类型
- 缺陷检测
- 应用
- 用于电子行业
产品介绍
光罩基板缺陷检测系统
FlashScan® 211光罩基板缺陷检测系统能满足光罩厂和基板制造商对于光学和EUV光刻应用的光罩基板的缺陷检测要求。 FlashScan 211系统结合了高灵敏度、无与伦比的检测速度、以及自动化缺陷处理功能，为各种不同的应用提供最快的结果。
应用
光罩基板制造，光罩基板认证，光罩工艺控制，光罩工艺设备监控
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