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光学检测系统 FlashScan®
自动缺陷检测用于电子行业

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产品规格型号

技术: 光学
运行模式: 自动
类型: 缺陷检测
应用: 用于电子行业

产品介绍

光罩基板缺陷检测系统 FlashScan® 211光罩基板缺陷检测系统能满足光罩厂和基板制造商对于光学和EUV光刻应用的光罩基板的缺陷检测要求。 FlashScan 211系统结合了高灵敏度、无与伦比的检测速度、以及自动化缺陷处理功能，为各种不同的应用提供最快的结果。应用光罩基板制造，光罩基板认证，光罩工艺控制，光罩工艺设备监控