表面缺陷检测系统 Teron™ 6xx series

用于生产

针对光罩厂应用的光罩缺陷检测系统 Teron™640e光罩检测产品系列通过检测关键图案和颗粒缺陷，在光罩厂中推动了先进的EUV和193nm图案光罩技术的开发和认证。 这些检测系统采用芯片与数据库或芯片与芯片的模式，可以处理各种堆叠材料和复杂的OPC结构，这是最新7nm和5nm器件节点的特色。 Teron 640e将多种光学和图像处理的配套功能升级，可以满足缺陷捕获率要求，并加快光罩生产周期。 Teron 640e产品系列还能满足生产EUV光罩所需的严格的洁净度标准。 应用 光罩认证，光罩工艺控制，光罩工艺设备监控，出厂光罩质量检查 相关产品 Teron 640: 用于10nm 及以下节点的光学和EUV光罩检测的业界生产设备标准。 Teron 630: 用于1Xnm / 2XHP光学和EUV光罩检测的业界生产设备标准。 Teron 610: 用于2Xnm / 3XHP光学光罩检测的业界生产设备标准。 TeraScan™ 500XR: 用于3Xnm / 4XHP 光学光罩检测的业界生产设备标准。