温度测量系统 MaskTemp™ 2

实时光罩温度测量系统 在光罩厂中，MaskTemp 2实时光罩温度测量系统被用于对电子束写入仪和高温光罩工艺步骤进行评估和监控。 MaskTemp 2是电子束光罩写入仪认证中极为关键的一环，因为光罩写入全部完成所需的时间非常长（最多24小时），而在此期间温度必须极为稳定。MaskTemp 2可以连续24小时采集电子束光罩写入仪内部的温度数据，为光罩制造商提供写入关键光罩之前所需的数据，以确保系统热稳定性。 Mask Temp 2还支持曝光后烘烤表征、热板温度均匀性监控、热板匹配及其他高温工艺应用，协助光罩制造商识别并减少写入后的工艺热变化，确保最终的光罩质量。 应用 电子束光罩写入仪认证，工艺开发，工艺控制，工艺认证，工艺监控，工艺设备认证，工艺设备匹配 电子束光罩写入 | 20-40°C 曝光后烘烤 | 20-140°C