光学轮廓测量仪 Tencor™ P-17

3D探针式薄膜分析用

Tencor P-17是第八代台式探针式轮廓仪，它凝结了逾40年的表面量测经验。该行业领先的系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量，扫描范围可达200mm，无需拼接。 出色的测量稳定性通过结合UltraLite® 传感器、恒力控制和超平扫描样品台实现。通过使用点击式样品台控制、顶视和侧视光学元件以及具有光学变焦功能的高分辨率相机，可快速轻松地设置程式。Tencor P-17探针式轮廓仪支持2D或3D测量，可使用多种滤波、调平和分析算法来测量表面形貌。通过图形识别、序列和特征检测实现全自动测量。 特征 台阶高度：纳米级到1000微米 恒力控制：0.03至15mg 无需拼接即可扫描样品的全直径 视频：5MP高分辨率彩色相机 弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差 软件：简单易用的软件界面 生产能力：具有测序、图形识别和SECS/GEM功能的全自动测量 应用 台阶高度：2D和3D台阶高度 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度 形状：2D和3D翘曲形状 应力：2D和3D薄膜应力 缺陷检测：2D 和 3D 缺陷表面形貌 工业 高校、实验室和研究所 半导体和化合物半导体 LED：发光二极管 太阳能 MEMS:微机电系统 数据存储 汽车 医疗器械 更多内容：请联系我们并告诉我们您的需求