光学检查机 Archer™ series

带图案晶圆用于电子工业裂纹

套刻量测系统 Archer™750套刻量测系统提供对产品套刻误差的准确反馈，能实现快速的技术升级，稳定生产先进的存储器和逻辑器件产品。在制造工艺不断变化的情况下，具有10nm分辨率的波长可调性提供了准确而强大的套刻误差测量。量产应用常见于散射量测的系统， Archer 750成像技术套刻系统支持更高采样率对光刻机的高阶校正，同时提供高产量便于进行在线监测。先进的算法和新颖的rAIM®套刻目标设计可改善目标与器件套刻误差之间的相关性，从而帮助光刻人员准确跟踪器件套刻的状况。 主要应用 产品在线套刻控制，在线监控，光刻机认证，图案控制 相关产品 Archer 700：基于成像技术的套刻量测系统，具备可调节光源，可对≤7nm逻辑和高级存储器设计节点进行精确且稳定的套刻误差测量。 Archer 600：基于图像的套刻量测系统，用于高级存储器和≤10nm逻辑器件。 Archer 500LCM：基于双成像和散射技术的套刻量测模块，适用于2Xnm / 1Xnm设计节点上的一系列制程层。 Archer 500：用于2Xnm / 1Xnm设计节点的基于成像的套刻量测系统。 ATL：基于散射测量的覆盖量测系统，适用于≤7nm逻辑和高级存储器设计节点。