光学检查机 29xx

带图案晶圆用于电子工业高解析度

295x Series电浆扫描检测系统在光学检测方面带来先进技术，检测出≤7纳米逻辑与先进记忆体设计节点关键良率缺陷。透过强化的电浆扫描光源技术以及全新的pixel•point™ 和 nano•cell™设计感知技术，2950和2955电浆扫描检测测仪配有卓越的灵敏度，能在各种制程层别、材料类型与制程堆叠中捕捉关键缺陷。作为业内线上监测的标准，295x Series结合了灵敏度与光学晶圆检测速度，实现Discovery at the Speed of Light™ ，敏捷并全面检测缺陷以实现最佳拥有成本。 光谱宽频电浆扫描晶圆缺陷提供对10纳米及以下的逻辑和先进记忆体装置进行关键良率缺陷检测。 光学宽频电浆扫描晶圆缺陷检测仪，提供对16纳米及以下的记忆体和逻辑装置进行关官关键良率缺陷检测。 光学宽频电浆扫描  晶圆缺陷检测仪可在 2X/1X纳米内存和逻辑器件上检测与良率相关的缺陷。 光学宽频电浆扫描晶圆缺陷检查仪，可在2x纳米内存和逻辑设备上检测与良率相关的缺陷。