TA600 主动振动隔离光学由蜂窝芯结构的高强度铝合金制成。 它由高精度音圈执行器、霍尔高度传感器和控制模块、加速度传感器、高精度信号滤波器和高速控制系统组成。 当@@
光学工作台受到环境振动干扰时,8 个加速传感器拾取(检测和收集)从 6 DOR 的信号。 信号将通过滤波器放大,并通过A/D转换器发送到 DSP 控制器。 通过精确的计算,安装在 6 DOR 的语音线圈执行器将产生反力来抑制振动。 这样就能实现出色的隔振效率。
应用:
▪ 显微镜和电显微镜
▪ 小尺寸光学设备
▪ 圆度测量仪器
▪ 需要高隔振效率的其他设备
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