气浮型隔振光学平台 ZDT-P系列
▪阻尼结构工作台板,可消除表面共振
▪台板可选
▪自动调平
▪可配套安装脚轮
蜂窝结构隔振平台台板或超导磁隔振平台台板,台板强度高,稳定可靠;隔振器采用超薄复合材料气囊、带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术,隔振性能良好,系统稳定。自动水平,自动充气,关键气动执行元件均采用德国FEST0产品,静音空气压缩机气源、噪声低。
应用领域:
显微镜、医疗生物
光路测试、光学测量
激光扫描、激光干涉
光谱实验、精密检测
集成电子
对振动要求非常高的仪器设备
性能指标:
固有频率
垂直:1.0~2.0Hz 水平:1.0~2.0Hz
隔振方式
空气弹簧 隔振橡胶
调平方式
自动调平
阻尼方式
多小孔空气阻尼
平台高度
800mm
工作压力
0.2~0.4MPa
空气源
静音空气压缩机 <50dB
隔振效率
垂直:5Hz时:82~88% ; 10Hz时:86~95%
水平:5Hz时:78~86% ; 10Hz时:84~92%
重复定位精度:±0.1mm
台板平面度:≤0.05mm/m²
台板粗糙度:≤0.8μm,表面亚光处理
调节高度:±10mm