它是一款高规格的欧杰电子能谱仪,配有半球形分析器,可对纳米到微米区域的化学键状态进行高通量分析,还配有场发射电子枪,也可用于 EPMA,因为它可以提供大而稳定的电流。 高精度微心试样台使得以前无法进行的绝缘体分析成为可能。它与浮动式离子枪相结合,可以处理金属和绝缘材料等任何试样,从而获得成分信息和化学信息。
特点
- 高灵敏度、高分辨率分析仪
采用能量分辨率可变的分析仪,可以在高分辨率模式下进行化学键状态分析,以及在高灵敏度模式下进行高速绘图。
- 肖特基场发射电子枪
这种电子枪既能实现 3nm 空间分辨率的图像观测,又能通过高达 200nA 的大电流进行高通量化学键状态分析。通过将 JEOL 多年来开发的电子光学技术与 SEM 和 EMPA 中使用的肖特基场发射电子枪相结合,实现了这一目标。
- 偏心试样台
采用偏心平台是具有多个光学系统的分析设备的必要条件,可提供高度精确的高度中心再现性。 最大 90° 的自由选择倾斜度使绝缘体的困难分析成为可能。
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