电子扫描显微镜 JSM-IT800 series

用于分析3D落地式

JSM-IT800 集成了我们的 "In-lens Schottky Plus 场发射电子枪"（用于从高分辨率成像到快速元素测绘）、创新的电子光学控制系统 "Neo Engine "以及无缝图形用户界面系统 "SEM Center"（用于快速元素测绘）和完全嵌入式 JEOL 能量色散 X 射线光谱仪 (EDS)，作为一个通用平台。 JSM-IT800 允许以模块形式更换扫描电镜的物镜，提供不同版本以满足不同用户的要求。JSM-IT800 共有五种不同物镜的版本：混合透镜版本（HL），是一种通用的 FE-SEM；超级混合透镜版本（SHL/SHLs，两种不同功能的版本），可进行更高分辨率的观察和分析；以及新开发的半内透镜版本（i/is，两种不同功能的版本），适合观察半导体器件。 此外，JSM-IT800 还可配备新型闪烁体背向散射电子探测器（SBED）和多功能背向散射电子探测器（VBED）。SBED 可以获取高响应性图像，即使在低加速电压下也能产生鲜明的材料对比度，而 VBED 则有助于获取三维、形貌和材料对比度图像。因此，JSM-IT800 可以帮助用户获得以前无法获得的信息，并解决测量中的问题。