超过 1,500 小时的长寿命阴极和无氦防烟功能
电子束金属 AM 机
主要特点
- 高功率光束(最大 6 千瓦)
- 长寿命阴极(1,500 小时或更长)
- 防粉末飞散系统 "e-盾
- 自动电子束校正
- 加热能力:1,100℃ 或更高
- 远程监控系统
特点
- 长寿命阴极
"长寿命阴极的使用寿命超过 1,500 小时,可大大缩短更换阴极的停机时间。其中的奥秘在于 JEOL 在制造电子束相关设备时开发的独创真空技术。
- 无氦和防止粉末飞散系统
"e-Shield
无需氦气即可防止粉末飞散。JEOL 独特的粉末飞散防止系统 e-Shield 和 JEOL 的扫描策略可避免烟雾现象。得益于无氦气环境,不仅可以在洁净的空间内以低成本制造零件,而且 "阴极表面也不易受损,使电子束保持稳定"。因此,制造质量可以一直保持到阴极的使用寿命结束。
- 自动电子束校正
我们在半导体制造电子束光刻系统中开发的技术可根据照射位置自动校正电子束的焦点和光斑形状。
这样就能在整个厂房区域内实现高质量和高重复性的生产。
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