日常使用的SEM,好用!
该设备最高分辨率1nm、最大探针电流300nA(之前的15倍),可提供丰富的观测和分析信息,用户界面操作简单、设计紧凑、配备大样品室。
产品特点
日常使用的SEM,好用!
随着技术的不断创新,观察的样品也越来越小,微小样品的测定已经常态化。 基于此,浸没式热场发射扫描电子显微镜InTouchScope™系列 JSM-IT700HR诞生了。 该设备最高分辨率1nm、最大探针电流300nA(之前的15倍),可提供丰富的观测和分析信息,用户界面操作简单、设计紧凑、配备大样品室。
主要特点
1. Zeromag & Autofunctions
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放大光学图像,无缝过渡到SEM图像
Zeromag具有将样品台图像、光学像和SEM像联动的功能,样品台上有多个样品和观察特定区域时,很容易搜寻视野。
※若显示光学像,需要选件样品台导航系统SNS
2. Integrated EDS & Live Analysis
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一体化EDS和实时分析
SEM操作界面上有EDS分析操作,观察分析无障碍。Live Analysis具有实时显示特征X线谱图功能。
3. SMILE VIEW™ Lab
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快速生成数据报告
JEOL独有的数据管理工具。 光学像、SEM像、EDS分析结果一并保存,报告书一键生成。也可以离线解析※1。
※1 需要离线分析软件 ※2 需要安装Microsoft®Office
4. 信号深度显示
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在操作导航GUI里增加了【信号深度显示】功能,实时了解在测样品的分析深度(参考),有效用于元素分析中。
5. 自动电子束对中 (ABA)
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电子束的轴偏离时,自动调整对中功能
6. 用蒙太奇功能进行广域观察与分析
蒙太奇就是一种拼接功能,能够将广域内采集到的所有图像拼接成一个高清图像。 此功能对于获取大面积详细信息非常有用。
蒙太奇结果 6x6(左:背散射电子像、右:Cu元素map像 )
样品:黄铜螺钉的平面刻蚀横截面*、 加速电压:20 kV、低真空模式 (20 Pa)、取像:6.4 mm × 4.8 mm
*机械研磨后、用IB-19530CP进行平面刻蚀加工