JBX-9500FS 是 100kV EB 系统,在点束光刻系统中具有世界顶级的生产能力和定位精度。该 EB 系统可容纳最大 300mmΦ 晶圆和最大 6 英寸掩膜,从而满足纳米压印、光子器件和通信器件等多个领域的研发和生产需求。
特点
JBX-9500FS 的最高扫描速度为 100MHz,当字段尺寸为 1000µm×1000µm 时,叠加精度为 ±11nm,字段拼接精度为 ±10nm,字段内位置精度为 ±9nm。因此,JBX-9500FS 是一款 100kV EB 系统,在点束光刻系统中具有世界顶级的吞吐量和定位精度。
由于 JBX-9500FS 采用了 20 位光束定位 DAC 和 14 位扫描 DAC,因此写入数据增量为 1nm 时可获得 0.25nm 的更高分辨率扫描步长,从而再现更精确的写入数据。
高达 100MHz 的扫描速度使 JBX-9500FS 能够在大电流写入时保持较短的扫描步长,从而在需要高精度图案写入时提高吞吐量。
世界一流的定位精度由 LBC(激光束控制)实现,它提供 0.15nm (λ/4096) 的高分辨率和最小光束定位步长。
此外,JEOL 开发的独特自动校准功能(自动校正功能)可实现长期高度可靠、稳定的图形书写。可为每个字段或每个图形设置自动校正的时间。该功能对于周末或连续假期等没有操作员的长时间写入非常有效。
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