点阵式电子束光刻系统 JBX-8100FS 实现了高吞吐量、小占地面积和省电。
特点
占地面积小
标准系统所需面积为 4.9 米(宽)x 3.7 米(深)x 2.6 米(高),比传统系统小得多。
功耗低
正常运行所需的功率约为 3 千伏安,仅为传统系统的 1/3。
高吞吐量
该系统有两种曝光模式:高分辨率模式和高吞吐量模式,支持从超细加工到中小型生产的不同类型的图案化。它最大限度地减少了曝光期间的空闲时间,同时将最大扫描速度提高了 1.25 至 2.5 倍,达到 125 MHz(世界最高水平),以实现高速写入。
版本
JBX-8100FS 有两个版本:G1(入门型号)和 G2(全选配件型号)。G1 型号可根据需要添加可选附件。
新功能
可选配光学显微镜,无需将抗蚀剂暴露在光线下即可检查样品上的图案。标配信号塔,用于可视化监控系统运行。
激光定位分辨率
平台位置的测量和控制以 0.6 nm 为标准步长,可选的升级版步长为 0.15 nm。
系统控制
多功能 Linux® 操作系统与全新的图形用户界面相结合,使操作更加简便。数据准备程序同时支持 Linux® 和 Windows®。
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