JPS-9030 配备了全新设计的用户界面,进一步提高了操作性,同时还首次采用了精致、新颖、时尚的外观设计。
功能特点
- 根据应用优化深度剖面
新开发的考夫曼型蚀刻离子源的蚀刻速率从 1 nm/min 到 100 nm/min(SiO2 当量)不等,并可进行多种设置。从要求精度的测量到要求速度的制程,它都能提供适合任何应用的深度剖面。考夫曼型蚀刻离子源安装在试样交换室上,可有效防止测量室受到污染。
- 新开发的软件更加易于使用
SpecSurf 2.0 版现在采用了带状图形用户界面,提供了一个用户友好的环境,所有操作均可通过鼠标完成。利用 JEOL 自带的自动定性分析功能,可以对多个采集点依次进行定性、定量和化学状态分析。
- 超高表面灵敏度
JPS-9030 支持角度分辨 XPS (ARXPS) 和全反射 XPS (TRXPS) 等技术,能够对 1 nm 的顶面进行超高灵敏度分析(标准测量方法为 6 nm 或以上)。
- 丰富的选项
- 单色 X 射线源
- 适用于有机样品的氩气簇离子源
- 红外线加热系统,温度可达 1,000 °C 或更高
- 转移容器,防止样品暴露在大气中
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