软 X 射线发射光谱仪(SXES)是一种超高分辨率光谱仪,由新开发的衍射光栅和高灵敏度 X 射线 CCD 相机组成。
与 EDS 一样,可以进行平行探测,并可进行 0.3 eV(费米边,Al-L 标准)超高能量分辨率分析,超过了 WDS 的能量分辨率。
特点
系统概要
新开发的光谱仪光学系统设计可同时测量不同能量的光谱,而无需移动衍射光栅或探测器(CCD)。利用高能量分辨率,可进行化学状态分析绘图。
SXES、WDS 和 EDS 的比较
使用各种光谱法测量氮化钛的光谱
对于氮化钛,N-Kα 和 Ti-Ll 的峰值是重叠的。即使使用 WDS,也需要使用数学方法进行波形解旋。如下图所示,SXES 具有很高的能量分辨率,可以观测到 TiLl。
锂离子电池 (LIB) 分析示例
下图示例显示了具有不同电荷状态的锂离子电池样品的大面积地图。SXES 可以绘制价带态(左)和基态(中)的锂-K 峰图。碳分布图(右图)还可显示完全放电的锂离子电池的功能。
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