IB-19520CCP在加工过程中利用液氮冷却,能减轻离子束对样品造成的热损伤。冷却持续时间长、液氮消耗少的构造设计。在装有液氮的情况下,也能将样品快速冷却、恢复到室温,并且可以拆卸。配有传送机构,在隔离空气的环境下能完成从加工到观察的全过程。
产品特点
IB-19520CCP在加工过程中利用液氮冷却,能减轻离子束对样品造成的热损伤。该设备冷却持续时间长、液氮消耗少;在装有液氮的情况下,也能将样品快速冷却、恢复到室温,并且可以拆卸。配有传送机构,在隔离空气的环境下能完成从加工到观察的全过程。
主要特点
1. 冷却的效果
可提供500μm/h(8KV/2小时的平均值)的研磨速率。
Specimen: Galvanized iron steel
左图:Normal milling (without cooling);右图:Cooled milling (holder temperature -120℃) ;Accelerating voltage 4kV
※ 通常加工(无冷却)时,铁和锌的接合面上能够观察到间隙,而冷却加工时则没有间隙
2. 使用温度控制系统(选配件)冷却
样品:硅晶片接合面
左1:Normal milling (without cooling) ;中间图:Cooling (holder temperature -150℃) ;右图:Cooling temperature control (holder temperature -20℃) ;Accelerating voltage 6kV
※ 常规加工由于热损伤造成粘合剂变形,出现了很大的间隙。 -150 ℃时,冷却过度,能观察到胶粘剂和硅晶片研磨面的接合面上出现了间隙,但通过温度控制冷却则没有间隙。
3. 合理利用间歇加工、冷却功能和温度控制冷却功能可支持各种样品的制备
4. 进程监控功能
截面加工状态可通过CCD相机实时监控,倍率还可调整。
5. 防止充放电的喷镀功能
备有离子束溅射功能(选配项)
可以喷涂颗粒感良好的薄涂层。
最适合于象EBSD等需要花样识别等情况。
6. 平面离子减薄样品架
以小角度的离子束低角度照射样品,达到清除表面污垢、平滑表面等效果。另外,也非常适合于选择性蚀刻。
7. 截面样品制备单元
安装在平面离子减薄样品架上使用。该单元可用于在旋转样品的同时进行离子束加工。
可以用来制备象多孔质材料、粉末、纤维等容易出现加工条纹的样品的截面。