现在,同一试样架可同时用于光学显微镜和扫描电子显微镜。因此,通过使用专用软件管理平台信息,系统可以记录光学显微镜观察到的位置,然后使用扫描电子显微镜进一步放大相同区域,以更高的放大倍率和分辨率观察精细结构。光学显微镜发现的观察目标可通过扫描电子显微镜进行无缝观察,而无需重新寻找目标。现在,我们可以顺利、轻松地比较和验证光学显微镜图像和扫描电子显微镜图像。
功能特点
利用颜色进行数据采集和直观观察
通过添加光学显微镜图像中的可见光颜色信息(这是 SEM 图像无法获得的),可提供视觉效果更直观的 SEM 图像。
利用光学显微镜的特点实现平滑的目标搜索
使用光学显微镜进行观察时,可以轻松找到目标结构,而使用 SEM 图像则很难分辨这些结构。
防止电子束损坏试样
为防止电子束对试样造成损坏或污染,首先要使用光学显微镜找到感兴趣的区域。这样就能在对观察部位辐射剂量最小的情况下进行扫描电镜观察。
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