大气等离子发生器 / 射频 TP

高频率

通过物理/化学反应过程，以高频感应方式产生约 10000 度的热等离子体，从而实现纳米粒子合成和厚膜合成（成膜） 特点 原理・特点 射频热等离子体在大气压或接近大气压的低压环境中工作，将高频功率集中在特定位置，利用电磁感应从各种气体中自发产生约 10,000 度的等离子体。 这种热等离子体是电弧放电的一个区域。 通过将材料（粉末、气体、液体）引入等离子体，可以诱导气化、熔化、解离和化学反应，应用领域包括纳米粒子合成、粉末球化和反应、薄膜形成和有害气体解离。 与直流（DC）电弧放电相比，可获得更大的等离子体体积 气体流动性也优于直流等离子体。由于流速慢了一个数量级，因此可以充分加热材料，诱导所需的反应。 由于没有电极，因此不会受到电极材料的污染，从而实现了高纯度加工。 可使用多种气体，包括氧化性、还原性和腐蚀性气体 可以制造出纳米级的细颗粒，这是机械粉碎所无法达到的。 利用原子、离子、激发分子和自由基等高能量化学物质的反应，为创造新物质和新材料提供了可能。