微透镜阵列:光束路径的均匀化和精确的光束引导
微透镜阵列主要用于在小空间内需要高度对准精度的应用。
Jenoptik采用灰度技术设计和制造微透镜阵列。这使我们能够实现更大的均匀性和更高的填充系数,而这是其他技术化,如回流焊技术所不能做到的。单个透镜的孔径可以是矩形、方形、六角形、圆形或椭圆形,而非常灵活的透镜外形。对于更大的透镜间距,也可以进行定制配置。
通过球面、非球面和离轴透镜及透镜段,我们保证相对于理想位置的绝对定位精度小于0.25微米。MLAs可以前后对齐到1微米以内,从而使我们可以创建单片双面微透镜阵列。这在较小的空间内产生了更大的功能。
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