光谱分析椭偏仪 theta-SE

Theta-SE是一个按钮式光谱椭圆仪，用于表征薄膜的均匀性。它的特点是将先进的椭圆测量仪器放在一个紧凑的包装中，而且价格合理。 完全集成 Theta-SE配备了300毫米的样品映射、小光点测量光束、快速样品对准、俯视摄像头和我们最新的双旋转椭圆仪技术。Theta-SE拥有你所需要的一切来测量薄膜厚度和光学特性的空间均匀性。 高速度 通过使用快速的点对点平移、高速的样品对准和双旋转椭圆仪技术进行连续的数据采集，优化了样品的产量。 结构紧凑 获得专利的双θ旋转平台可以在一个小型的台式仪器中实现完整的300毫米制图。仪器的占地面积只比一个300毫米的晶圆略大。 用户友好 自动数据分析和内置报告实现了按钮式操作和快速获取测量结果。 经济实惠 theta-SE以合理的价格提供了分光椭圆仪和300毫米均匀性测绘的功能。