M-2000®系列光谱椭圆仪是为满足薄膜表征的各种需求而设计的。先进的光学设计、宽广的光谱范围和快速的数据采集结合在一起,成为一个极其强大和通用的工具。M-2000同时提供速度和准确性。我们的专利RCE技术结合了旋转补偿器椭圆仪和高速CCD检测,在几分之一秒内收集整个光谱(数百个波长),并有多种配置。M-2000是第一个真正擅长于从原位监测和过程控制到大面积均匀性绘图和通用薄膜表征的椭偏仪。没有其他椭圆仪技术能更快地获得全光谱。
先进的椭偏仪技术
M-2000利用我们的专利RCE(旋转补偿器椭圆仪)技术来实现高精确度和准确性。
快速光谱检测
RCE设计与先进的、成熟的CCD检测兼容,可同时测量所有波长。
广泛的光谱范围
采集从紫外线到近红外的700多个波长--全部同时采集。
灵活的系统集成
通过模块化的光学设计,M-2000适合直接连接到您的工艺室或配置在我们的任何桌面底座上。
精确性
先进的设计确保对任何样品进行准确的椭圆测量。
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