机动分配器 SB

立式卧式紧凑型

气动驱动分配器 - 最适合于半导体制造过程中的光阻应用。 SB系列的特点 高精度 SB系列分配器精确测量/分配化学液体，如光刻胶。每次注射的量非常精确，以确保光阻的最佳用量。使用可选的回吸装置可以防止注射喷嘴的滴漏。波纹管中几乎没有死体积，所以溶液停滞的可能性最小。 无缝隙和超慢的气缸设计允许低速的光刻胶定量，减少了空气滞留的可能性。 不锈钢/氟化物湿端 不锈钢（SUS304）和氟（PTFE/PFA）湿端可用于不同的液体，确保良好的耐腐蚀性和无污染的输送。最适合用于输送高分辨率/高纯度的光刻胶。 轻便和紧凑的设计 该泵可以垂直和水平方向安装（SB-4K/-5/-6除外），可以实现最佳的系统配置，结构紧凑，可以在有限的安装空间内安装。 另外，还可以选择一个可以微调定量的机械挡板和一个保证活塞在缸内正确运动的位置检测器。