泥浆泵 FW / FW-H

气动式波纹管固定式

采用厚实的波纹管使泵能够在最高0.45兆帕的压力下排放液体。此外，波纹管的寿命是膜片的三到四倍。因此，停机时间可以大大减少。 除了用于输送化学液体外，指定用于高压和中温（10-100˚C）的FW系列可用于清洗系统和CMP浆液的循环，用于高压和高温（10-180˚C）的FW-H系列可作为清洗系统的循环泵。 吸入和排出的配件部分是由PFA管状结构整体形成的。这可以防止颗粒的积聚，并允许使用市场上的接头。 当连接到一个特殊的控制器时，可以很容易地控制和监测排放。