化学品泵 FA series

气动式波纹管固定式

无污染的设计 所有的液体终端部件都是由氟树脂制成的，具有最佳的抗热性和抗腐蚀性。腐蚀性很强的液体可以安全地转移，没有颗粒物排放。 传感器驱动系统 通过使用内部接近开关，传感器驱动系统打开/关闭电磁铁。即使在低冲程的情况下，也能确保可靠的操作和稳定性。 对于单晶硅的加工，我们提供FA-2E，这是一种配备有喷雾系统的低流速的横向型。FA-40VEW是用于高流量的垂直型，可以清洗最大200/300毫米的晶圆。 厚实的H型波纹管（FA-40VEW）具有出色的抗高压能力，保证了持续运行的长寿命。如果使用特殊的泵驱动器，可以很容易地控制和监测排放。