化学品泵 FS series
气动式波纹管固定式

化学品泵
化学品泵
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产品规格型号

流体
用于化学品
驱动类型
气动式
所用技术
波纹管
可移动性
固定式
应用领域
化学, 半导体工业
应用
排放, 计量, 高压, 循环
材质
PTFE, 金属, PFA
其他特性
电子控制式, 涂层, 带有压力传感器
流量

最多: 6,000 l/h
(1,585.03231 us gal/h)

最少: 0 l/h
(0 us gal/h)

压力

最多: 500,000 Pa
(72.519 psi)

最少: 0 Pa
(0 psi)

液体温度

最多: 180 °C
(356 °F)

最少: 5 °C
(41 °F)

长度

315 mm, 390 mm, 441 mm, 562 mm, 612 mm
(12 in, 15 in, 17 in, 22 in, 24 in)

宽度

220 mm, 251 mm, 294 mm
(8.66 in, 9.88 in, 11.57 in)

高度

345 mm
(13.58 in)

产品介绍

高速冲程 由于减少了尺寸、重量和成本,冲程速度可以提高到240 spm。此外,发生的脉动可以被最小化。根据泵的类型,冲程率是不同的。 无污染的设计 所有的液体端盖都是由氟树脂制成。该泵的设计使其没有金属部分暴露在外。甚至外部也涂有氟树脂。轴封的使用(正在申请专利)具有显著减少颗粒物排放的效果。 广泛的液体温度范围/高压排放 可以处理温度从5到180°C,压力高达0.5MPa的液体。该泵可用于清洗、CMP或化学循环过程。 易于维护 接近开关很容易更换,无需拆卸泵。此外,没有必要重新拧紧螺栓,这样就减少了可能的停机时间。 传感器驱动系统 通过使用内部接近开关,传感器驱动系统打开/关闭电磁铁。因此,在使用不同的泵驱动器的情况下,可以轻松控制或管理排放。

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。