3 号 IWH 系列,带 2 连杆双臂和 3 号车身
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我们的晶片处理机器人具有提高应用产量的潜力。两个独立的手臂意味着一个工位上的晶片可以快速更换,从而避免了空运行。
特点
-出色的结构刚性
-晶圆处理最大可达 300 毫米
-最高的可靠性和精度
-线性轨道与机器人控制器连接方便
-运行非常平稳
-无间隙谐波驱动齿轮
-绝对式、增量式编码器或旋转变压器
-集成式双通道真空显示
-包括 "标准 "或 "高级 "控制器和软件
-兼容 ISO 1 洁净室环境
-MTBF: > 50,000 工作小时
-德国制造
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