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SCARA平面关节机器人 IWH Series 1用于晶圆操作
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产品规格型号
- 类型
- SCARA平面关节
- 功能
- 用于晶圆操作
- 最大载荷
最多: 1 kg
(2.205 lb)最少: 0 kg
(0 lb)- 重复精度
0.02 mm
(0.0008 in)
产品介绍
1 系列机器人专为晶圆输送而设计。模块化系统可将 7 英寸至 21 英寸 Z 冲程的各种基座与 10.5 英寸至 28 英寸的大量不同手臂模块组合在一起。通过适当的轴组合，搬运重量可达 3 公斤。
特点
-出色的结构刚性
-最高的可靠性和精度
-可提供顶部安装 (TA) 或底部安装 (BA) 型
-定制设计
-绝对式或增量式编码器
-与预校准器、直线导轨和其他周边设备无缝集成
-包括 "标准 "或 "高级 "硬件和软件
-兼容 ISO 1 洁净室环境
-德国制造
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