SCARA平面关节机器人 IWH Series 1
用于晶圆操作

SCARA平面关节机器人 - IWH Series 1 - isel Germany/德国isel - 用于晶圆操作
SCARA平面关节机器人 - IWH Series 1 - isel Germany/德国isel - 用于晶圆操作
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产品规格型号

类型
SCARA平面关节
功能
用于晶圆操作
最大载荷

最多: 1 kg
(2.205 lb)

最少: 0 kg
(0 lb)

重复精度

0.02 mm
(0.0008 in)

产品介绍

1 系列机器人专为晶圆输送而设计。模块化系统可将 7 英寸至 21 英寸 Z 冲程的各种基座与 10.5 英寸至 28 英寸的大量不同手臂模块组合在一起。通过适当的轴组合,搬运重量可达 3 公斤。 特点 -出色的结构刚性 -最高的可靠性和精度 -可提供顶部安装 (TA) 或底部安装 (BA) 型 -定制设计 -绝对式或增量式编码器 -与预校准器、直线导轨和其他周边设备无缝集成 -包括 "标准 "或 "高级 "硬件和软件 -兼容 ISO 1 洁净室环境 -德国制造

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