预对准模块

单轴Logosol预对准仪 "嵌入式" 描述 Logosol预对准器是创新的、高精度的、1级兼容的Logosol预对准器解决方案，带有集成扫描电子装置。 Logosol预对准器是Logosol, Inc.的专利产品。美国 www.logosolinc.com 特征 对准时间<2.5秒 使用LED和CCD传感器进行非接触测量 集成扫描电子装置 卡盘加载 更换到另一个晶圆尺寸而无需重建 可对准透明、半透明、有孔和不透明的晶圆 所有的、平坦的和有缺口的晶圆规格 适用于从3英寸到12英寸的晶圆尺寸 可从侧面和下方提供连接面板