大孔径定位系统 XY-OF-S300x300-A300x300JXY 轴线性用于检测晶片和计量
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产品规格型号
- 轴数量
- XY 轴
- 构造
- 线性
- 应用
- 工业, 用于检测晶片和计量, 用于实验室应用, 用于无菌室, 光学应用, 用于晶圆操作, 电路板, 用于扫描仪, 用于测试
- 其他特性
- 紧凑型, 高精度, 线性电机驱动, 高解析度, 伺服操控式, 带步进马达, 电机伺服, 快速, 大孔径, 丝杠
- 重复精度
5 µm
- 载荷
30 kg
(66.14 lb)- 运行行程
300 mm
(11.81 in)- 传送速度
40 mm/s, 80 mm/s
产品介绍
开放式 XY 平台外形小巧，适用于显微镜应用中的各种自动精确定位。驱动机构位于装置的侧面，提供了一个清晰的双轴孔径，使光线或物体能够通过移动中心。
开放式框架 300x300 mm XY 平台的整个行程上都保持无缝孔径
型号 - 单位 - XY-OF-S300x300
XY-OF-S300x300-A300x300J
XY 行程 - mm - 300x300
螺距 - 4 mm
孔径 - mm - 300x300 在整个行程范围内畅通无阻
台面 - mm - 400x400
高度 - 毫米 140
反向间隙 - 微米 - 5
分辨率（翻译） - 微米 - 1
电机 NEMA17
步进、步进/编码器、伺服/编码器
重复精度 - 微米 - 5
负载能力 - 千克 - 30
工作台重量 - 千克 - 45
最大速度 - 毫米/秒 80（带伺服电机） 40（带步进电机
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