开放式的XY平台设计,具有较低的外形,适用于广泛的自动精确定位应用。
线性马达驱动机构位于装置的侧面,提供了一个清晰无阻的双轴孔,使光线或物体能够通过移动中心。
XY工作台配有1微米分辨率的精密线性编码器
行程XY:mm 200x200
光圈:毫米200x200
台面:mm 380x380
高度:毫米 140
精度:微米10
背隙:0微米(线性马达/编码器)。
直度:微米10
分辨率:微米0.5; 1.0
电机类型 : 线性马达/编码器(选件)
重复性:微米1(线性马达/编码器)。
载重能力:公斤 10
台面重量:15公斤
最大速度:mm/sec 600(直线电机)。
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