旋转位移台 XY-OF-UL-350x350+ACR335UTXY 轴双轴开放式框架
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产品规格型号
- 方向定位
- XY 轴, 旋转
- 轴数量
- 双轴
- 其他特性
- 开放式框架, 用于晶圆操作
- 运行行程
350 mm
(13.78 in)- 速度
400 mm/s, 800 mm/s
产品介绍
“ 为薄酥饼处理设计的开放框架低调X - Y转台式阶段和在半导体制造工业的许多其他自动化的准确安置的应用。X - Y的传动机构位于在单位和大中心一边孔通过轮盘提议清楚的unobstruced通入对薄酥饼从两个sides. \ /html”
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